清除氮化铝实验成功
发布时间：2018-04-25
利用低温等离子体通过一系列干法化学与物理反应，可有效除去铝表面的一层氮化层，这一过程相对普通清洗活化会显得复杂一些，经过特殊构造的电极和特定的工艺气体是比不可少的条件。
等离子去除氮化铝的工艺不涉及到化学溶液，与化学反应相比更环保，操作更安全。
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利用低温等离子体通过一系列干法化学与物理反应，可有效除去铝表面的一层氮化层，这一过程相对普通清洗活化会显得复杂一些，经过特殊构造的电极和特定的工艺气体是比不可少的条件。
等离子去除氮化铝的工艺不涉及到化学溶液，与化学反应相比更环保，操作更安全。