等离子清洗机以气体为清洗介质，有效避免了液体清洗介质对被清洗物造成的二次污染。 等离子清洗机与真空泵相连。 工作时，清洗室中的等离子体轻轻清洗待清洗物体的表面。 可在短时间内清除有机污染物。 同时，污染物被真空泵去除并清洗干净。 程度达到分子水平。 除了清洁功能，等离子清洁器还可以在特定条件下改变某些材料的表面特性。 等离子体作用于材料表面，重组表面分子的化学键，形成新的表面特性。 对于一些特殊用途的材料，等离子清洗机在超净过程中的辉光放电，不仅加强了这些材料的附着力、相容性和渗透性，而且起到了消毒杀菌的作用。 等离子清洗剂广泛应用于光学、光电子、电子、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微流体等领域。

等离子清洗机的应用起源于20世纪初。 随着高新技术产业的快速发展，其应用也越来越广泛。 目前已在众多高科技领域占据关键技术地位。 等离子清洗技术对工业经济和人类文明的影响，其中电子信息产业先推广，尤其是半导体产业和光电产业。

等离子清洗机已用于制造各种电子元件。 相信没有等离子清洗机及其清洗技术，就不会有今天这样先进的电子、信息和通信行业。 此外，等离子清洗机及其清洗技术还应用于光学工业、机械和航空航天工业、聚合物工业、污染防治工业和测量工业，是产品改进的关键技术，如光学元件的涂层和延伸模具。 或加工工具的寿命耐磨层、复合材料的中间层、机织织物的表面处理、微传感器的制造、超微机械加工技术、抗磨层 人工关节、骨骼或心脏瓣膜需要等离子技术的进步才能完成开发。

等离子清洗机在应用过程中表现出清洗效果、表面处理稳定、对难点部位进行有效清洗的特点。 等离子清洗机的工作原理主要是依靠等离子中活性粒子的“活化”来达到去除物体表面污渍的目的。

等离子体技术是结合等离子体物理、等离子体化学和气固界面化学反应的新兴领域。 这是一个典型的高科技产业，需要跨越多个领域，包括化工、材料、电机，因此将具有挑战性。 它也充满了机会。 由于半导体和光电材料的快速增长，该领域的应用需求将会增加。