随着科学技术的进步，微波等离子去胶机在现代工业中发展迅速。原因也很简单。选择等离子去胶机是因为操作简单，工作效率高，成本低，环保，去胶后表面光滑。以下是等离子去胶机的使用方法:

1、调整适当的频率：

频率越高，氧越容易电离成等离子体。如果频率过高，电子振幅比平均自由度短，则降低电子与气体分子碰撞的概率，降低电离率。通常，微波等离子体去胶机的常用频率为13.56mHz和2.45gHZ。

2、调整适当功率：

至于一定量的气体，功率大，等离子体中的活性粒子密度高，去胶速度快；但当功率增加到一定值时，能消耗的活性离子就会饱满，无论功率有多大，去胶速度都不会显著增加。由于功率大，基板温度高，微波等离子体去胶机的功率应根据技术要求进行调整。

3、调整合适的真空度：

适当的真空度可以增加电子运动的平均自由度，因此从电场获得的能量很大，有利于电离。当氧气流量必须准时时，真空度越高，氧气的相对份额就越大，活性粒子的浓度也就越大。但如果真空度过高，活性粒子的浓度就会降低。

4、氧气流量调整：

氧气流量大，活性粒子密度大，去胶速率加快；但如果流量过大，离子复合概率会增加，电子运动的平均自由度会缩短，电离强度会降低。如果反应室压力不变，流量增加，也会增加提取的气体量，同时也会增加尚未参与反应的活性粒子提取量，因此流量增加对去胶速率的影响不大

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